Les débitmètres de masse thermiques mesurent le débit massique de fluides en mesurant la chaleur conductée d'une surface chauffée au fluide d'écoulement. Étant donné qu'un fluide fluide élimine une quantité connue de chaleur tel qu'il passe, la différence de température entre le capteur chauffant et le flux d'écoulement est directement proportionnelle au débit massique. Les débitmètres de masse thermique sont utilisés presque entièrement pour les applications de débit de gaz. Ils ne comportent aucune pièce mobile, ont un chemin d'écoulement presque non obstrué, ne nécessitent aucune correction de température ni de pression et conservent une précision sur une large gamme de débits.