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La différence entre les capteurs de pression de silicium de silicium de silicium et de silicium de silicium diffus

publier Temps: 2022-04-18     origine: Propulsé

Le capteur de pression est le capteur le plus couramment utilisé, qui est largement utilisé dans divers environnements d'automatisation industrielle, impliquant la conservation de l'eau et l'hydroélectricité, le transport ferroviaire, les bâtiments intelligents, l'automatisation de la production, l'aérospatiale, l'armée, la pétrochimie, les puits de pétrole, l'électricité, les navires, les machines-outils, pipelines, etc.Selon différents principes de fonctionnement, les capteurs de pression peuvent être divisés en types suivants:

Capteur de silicium monocristallin

Capteur de pression de silicium monocristallin haute performance, utilisant une excitation électromagnétique et un ramassage de vibrations électromagnétiques, la sortie est un signal de fréquence, une capacité anti-interférence forte, une bonne stabilité, aucune conversion A / D, peut mesurer à la fois la pression absolue et la pression différentielle.

Capteur de pression capacitif

Les émetteurs capacitifs ont un composant de détection de capacitance variable. Le capteur est un assemblage complètement fermé. La pression de processus, la pression différentielle est transmise au diaphragme de détection à travers le diaphragme d'isolation et le remplissage de l'huile de silicone liquide pour provoquer un déplacement. La différence de capacité entre le diaphragme de détection et les deux plaques de condensateur est convertie en une sortie de signal électrique par un système à deux fils de (4-20) MA par composants électroniques.

Capteur de pression de silicium diffusion

Le capteur de pression de silicium diffusion est que la pression externe est transmise à la puce sensible à travers le diaphragme en acier inoxydable et l'huile de silicone scellée interne, et la puce sensible ne contacte pas directement le milieu mesuré. Avec sa puissance de sensibilité élevée, une bonne réponse dynamique, une précision de mesure élevée, une bonne stabilité, facile à miniaturiser, mais facilement affectée par la température, il s'agit du premier choix pour les capteurs de milieu de gamme pour toutes les mesures supérieures à 1kpa. La céramique est reconnue comme un matériau résistant à l'usure, résistant aux chocs, résistant à l'usure, résistant aux chocs et résistant aux vibrations.

Capteur de pression en céramique

Les caractéristiques de stabilité thermique de la céramique et de sa résistance épaisse du film peuvent rendre sa plage de températures de fonctionnement aussi élevée que de -40 ~ 135 ° C et la haute précision et la haute stabilité de la mesure. Le degré d'isolation électrique est> 2 kV, le signal de sortie est fort et la stabilité à long terme est bonne. Une excellente précision linéaire, hystérésisis et fiabilité, rentable. En principe, des gammes plus élevées sont également plus faciles à réaliser. Ces deux capteurs sont largement utilisés dans l'aérospatiale, l'aviation, la navigation, la pétrochimie, les machines d'alimentation, l'ingénierie biomédicale, la météorologie, la géologie, la mesure sismique et d'autres champs.

De plus, les capteurs utilisés dans les émetteurs de pression généraux (différents émetteurs de pression différentielle) sont couramment utilisés: capteurs de silicium diffusés, capteurs de piézorésistifs en céramique, capteurs capacitifs en céramique, capteurs de silicium à un seul cristallin, etc.

Ce type de capteur ne peut mesurer que la pression de jauge ou la pression absolue. Ils ont aussi leurs propres lacunes. Les capteurs utilisés à différentes occasions sont également différents. Par exemple, un émetteur de pression général de petite gamme doit utiliser un capteur capacitif en céramique. La stabilité et la précision seront plus élevées que d'autres; et la gamme ultra-large générale, en raison de la limitation du processus de production, utilise généralement des piézorésistors en céramique; Pour les capteurs de silicium diffus, les capteurs de silicium diffusés généraux remplis d'huile sont plus appropriés pour la compensation de température, etc. La technologie a été améliorée et elle est également remarquable en termes de stabilité et de capacité de surcharge. Le capteur de pression différentielle est rempli d'huile de silicone ou de gaz inerte, ce qui est généralement un capteur capacitif. Bien entendu, les capteurs d'autres technologies sont également remplis de liquide inerte ou de gaz inerte. Sa fonction est d'appliquer la pression uniformément sur le diaphragme sensible à la pression.

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